Gambaran umum platform isolasi getaran aktif
STACIS ® III adalah sistem isolasi getaran aktif yang fleksibel. Sistem platform isolasi getaran aktif STACIS menggunakan sensor getaran inersi canggih, algoritma kontrol canggih, dan aktuator piezoelektrik untuk menyaring gerakan tanah dengan mengukur aktivitas tanah secara terus menerus dan kemudian memperluas dan menyusut aktuator piezoelektrik untuk menghilangkan getaran secara real time.
STACIS** awalnya dirancang untuk mengisolasi mikrografi presisi, pengukuran, dan peralatan pengujian di pabrik semikonduktor canggih, dan sekarang menjadi solusi standar industri untuk instrumen sensitif** di lingkungan yang bising, termasuk namun tidak terbatas pada pabrik semikonduktor, laboratorium analisis kegagalan, penelitian nanoteknologi, fasilitas manufaktur nano, dan pusat penelitian bahan.
Sistem platform isolasi getaran aktif STACIS III mencakup pengontrol digital baru dan ditingkatkan DC-2020. Sistem kontrol baru ini menggunakan prosesor dual-core baru, Ethernet, dan port serial USB di panel depan dan belakang untuk menyediakan antarmuka pengguna grafis (GUI) yang modern dan mudah digunakan. Dengan ratusan kasus instalasi yang sukses di seluruh dunia, STACIS adalah sistem isolasi getaran yang ideal untuk instrumen yang sensitif terhadap getaran.

Keuntungan dari sistem platform isolasi getaran aktif STACIS III
STACIS adalah ratusan kali lebih keras dari insulator udara dan tidak ada batasan sistem isolasi udara. Tidak ada suspensi "lunak", dan tidak seperti sistem udara aktif, STACIS dapat ditempatkan di bawah alat dengan sistem isolasi udara aktif internal, sehingga kedua sistem beroperasi dalam keadaan ***.
Desain serial yang unik dan teknologi piezoelektrik kekuatan tinggi khusus yang mencapai lebar bandwidth aktif 0,6 Hz *** 150 Hz dan kinerja isolasi aktif *** 90% pengurangan getaran mulai dari 2 Hz.
Fitur Platform Isolasi Aktif STACIS III
▪ ** Kontroler digital DC-2020 baru yang diperbaiki dengan antarmuka pengguna grafis yang mudah digunakan
▪ Isolasi dimulai pada 0,6 Hz, mencapai tingkat isolasi 40% *** 70% pada 1 Hz
▪ Isolasi vertikal dan horizontal lebih dari 90% pada frekuensi 2 Hz dan lebih tinggi
▪ Mengurangi persyaratan infrastruktur dan biaya konstruksi, bahkan dengan peralatan getaran luar yang lebih besar
▪ Rentang isolasi getaran efektif, 0.6Hz hingga 150Hz
▪ Mendapatkan pengakuan dan konfirmasi luas dari banyak pengguna
▪ Desain instalasi keras 6 arah kebebasan tanpa suspensi udara
▪ Sistem kontrol yang kuat tanpa kalibrasi ulang secara teratur
▪ Desain point-of-use yang kompatibel dengan sistem isolasi getaran yang ada
▪ Seiring perubahan lingkungan eksternal, sistem secara otomatis disesuaikan dengan berbagai situasi getaran eksternal
▪ Stacis dari TMC ® Teknologi menggunakan aktuator piezoelektrik aktif pengurangan vibrasi
▪ Kontroler digital dengan antarmuka pengguna grafis berbasis PC (GUI)
▪ Meningkatkan produksi, kualitas, dan tingkat produk selesai pelanggan.
▪ Sesuai dengan standar RoHS
▪ ** Lebar bandwidth aktif isolasi, ** efek isolasi frekuensi rendah
▪ Eliminasi getaran aktif Yachts ** terutama dalam pita frekuensi 0,6-6Hz
▪ Desain yang dapat ditumpuk
▪ Struktur instalasi keras aktif, bukan suspensi lunak, tanpa drift frekuensi rendah, komponen aktif terhubung dengan pegas kaku
▪ Spring pasif menyaring resonansi beban dari sensor STACIS, sangat sedikit penyesuaian yang dibutuhkan, bahkan tidak ***
▪ Isolator internal yang kompatibel dengan instrumen karena impedansi tidak cocok
▪ Beban hingga 2000kg
▪ Sistem Isolasi Vibrasi Aktif di Pasar**
Kinerja Platform Isolasi Aktif

Menggunakan VC-C (500 μin/s, 12,5 μm/s RMS) untuk menguji beban guna 4.500 lb (2.045 kg)
Spesifikasi Platform Isolasi Aktif
Spesifikasi kinerja
Tingkat kebebasan aktif | 6 |
Lebar pita aktif | 0.6 Hz - 150 Hz |
Frekuensi inheren pasif | 18 Hz vertikal dan horizontal |
Frekuensi resonansi aktif yang efektif | 0.5 Hz |
Isolasi pada 1 Hz | 40% - 70% |
Isolasi pada ≥2 Hz | ≥90% |
Waktu stabil setelah masukan langkah 10 lb (4,5 kg) (dikurangi 10:1) | 0,3 detik |
Kebisingan internal | <0.1 nm RMSd> |
Rentang beban kerja untuk setiap isolator | Kapasitas beban rendah: 400 - 1100 lb (181 - 499 kg) |
Kapasitas beban sederhana: 900 - 2100 lb (408 - 953 kg) | |
Kapasitas beban tinggi: 1900 - 4500 lb (862 - 2041 kg) | |
Ketakuan (1.000 lb / 454 kg massa, isolasi beban sederhana) | 40.000 lb / inci (73 x 105 NW / m) |
Medan magnet yang dipancarkan dari isolator jarak ** 4 inci (102 mm) | <0.02 μG broadband RMSd> |
Persyaratan desain, ukuran, lingkungan, dan kegunaan isolator
Lingkungan dan Keselamatan | Sesuai dengan standar CE dan RoHS |
Komponen Isolasi Aktif | ** Aktor piezoelektrik dengan kapasitas beban kecil 3.300 pon (1.500 kg) menerima sinyal dari amplifier tegangan tinggi dengan output hingga 800 VDC. Aktor vertikal mendukung beban guna isolasi getaran |
Komponen isolasi getaran pasif | Elastomer homogen keras tunggal (tanpa sumber udara terkompresi) |
Komponen sensor getaran | Sensor inersi tipe detektor gempa ke bawah untuk mengukur getaran tanah di bawah isolator dan memberikan tegangan yang sejajar dengan kecepatan gerakan getaran |
Kontrol umpan balik aktif | Pengukuran, pengolahan, dan pengurangan getaran permukaan di bawah pegas yang mendukung permukaan isolasi getaran |
Ukuran Isolator (Lebar x Dalam x Tinggi) | 11,75 x 12,5 x 10,8 inci 300 x 320 x 275 mm |
Berat Isolator | 75 pon (34 kg) |
suhu kerja | 50° - 90°F 10° - 32°C |
Suhu penyimpanan | -40° - 130°F -40° - 55°C |
Kelembaban | 30 - 60% |
Persyaratan daya sistem | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC; <600 W Sesuai dengan standar CE |
Pergeseran tanah | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
Jumlah isolator untuk setiap sistem | * Kurang dari 3 |
Aksesoris opsional | Platform stainless steel laminasi, kerangka, tabung berdiri, alat penyetaran, alat anti gempa, penutup angkat |
Spesifikasi Kontroler DC-2020
Ukuran (lebar x dalam x tinggi) | 19 x 8,5 x 1,75 inci 483 x 216 x 45 mm |
Berat | 6,3 pon (2,9 kg) |
Prosesor | Dual Core 150/75 MHz |
Tingkat sampel | 10 kHz |
Output analog | 16 saluran |
Input analog | 16 saluran |
Lampu Status | LED tunggal |
Port panel depan | 1 Serial USB 2.0 1 Serial Micro-USB Sebuah Ethernet RJ-45 Dua BNC |
Port panel belakang | 1 Serial USB 2.0 Sebuah Ethernet RJ-45 1 RS-232 DB-9 Serial Tradisional untuk Isolator STACIS 2100 Tradisional |
Antarmuka Pengguna | Layar LCD panel depan Menu karakter di super terminal GUI Ekstensi untuk Microsoft Windows GUI Ethernet tertanam |
Pengguna dan Aplikasi STACIS
1. mikroelektronik, semikonduktor
▪ Deteksi chip
▪ Teknologi Mikrografi
▪ Kalibrasi topeng
2. penelitian ilmiah, nanoteknologi
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3. mesin laser
▪ Ilmu Kehidupan, Pengembangan Obat
4 Aplikasi Industri
▪ Pengolahan presisi
Mengapa memilih sistem isolasi aktif?
▪ Menghilangkan getaran tanah dengan kuat mulai dari <1Hz, dan platform pneumatik tidak dapat memainkan isolasi getaran yang efektif pada frekuensi rendah ini
▪ Meningkatkan Kualitas dan Produksi
▪ Kemampuan pencitraan fitur yang lebih halus
▪ Penelitian Frontier
▪ Lebih stabil dari platform pneumatik
▪ Solusi** untuk memenuhi parameter instalasi lokasi standar SEM
▪ Mengurangi biaya rekayasa peralatan laboratorium dan penelitian baru
Mengapa Sistem Isolasi Aktif Memilih STACIS
▪ Itu menjadi suara para peneliti, menyediakan lingkungan bebas gempa sebanyak mungkin.
▪ Sistem isolasi frekuensi rendah yang kuat di pasar.
▪ Saat ini semua produsen SEM telah mengumumkan persyaratan parameter instalasi, parameter getaran yang dibutuhkan membutuhkan sistem isolasi getaran aktif untuk memenuhi.
▪ STACIS** ditemukan pada tahun 1990-an dan dikembangkan lebih lanjut, dikembangkan dan diinstal oleh TMC dengan ribuan sistem isolasi getaran aktif, yang merupakan solusi yang dapat diandalkan untuk bidang kontrol isolasi getaran aktif.
STACIS Ratusan Kali Lebih Kaku Daripada Isolator Pneumatik
Waktu stabil sebagai tanggapan terhadap gangguan, sangat dipersingkat karena desain serial yang unik, ideal untuk pembuatan mesin, beban dinamis, laser atau permukaan kaku independen yang membutuhkan pemasangan sumber cahaya.
Keuntungan berikut ini ada di industri ini **
▪ Lebar pita isolasi aktif STACIS adalah 0,6 Hz - 150 Hz
▪ 6 derajat kebebasan aktif menghilangkan getaran dengan interval getaran 8-10dB pada 1Hz
▪ Isolasi getaran hingga 90% (20dB) dari 2-3Hz
Penyelidikan Lingkungan Profesional
Survei lingkungan sebelum dan setelah instalasi, termasuk getaran, medan magnet, gelombang suara
Setelah instalasi dapat menyediakan sertifikasi sistem lingkungan
▪ Layanan survei lingkungan yang sempurna
▪ Membuat Laporan Lingkungan Profesional
▪ Menyediakan deteksi dan solusi getaran, medan magnet, gelombang suara
▪ TMC merekomendasikan solusi utilitas kepada pengguna berdasarkan pengalamannya yang luas
▪ Lebih dari 40 Tahun Pengalaman Industri **
Aplikasi Foto





