Katalisis suhu rendah - sistem pemurnian nitrogen suhu tinggi

Sistem pemurnian ini menggunakan katalis paten buatan sendiri, katalis ini memiliki umur panjang, kedalaman pemurnian yang tinggi, dan fluktuasi instan gas bahan baku yang kuat; Menggunakan proses adsorpsi fisik dan reaksi kimia, terlebih dahulu menghilangkan banyak kotoran H2O, O2, CO, CO2 dari gas inert dan hidrogen (H2) pada suhu kamar, lalu menghilangkan sisa kotoran dan N2 melalui menara penyerapan suhu tinggi, sehingga kotoran gas murni ekspor dibagi di bawah 1ppb. Perangkat ini memiliki karakteristik seperti umur panjang dan operasi sederhana.

Kinerja Produk

Cocok untuk digunakan dengan gas murni tidak kurang dari 99,999%.

◎ Produk ini adalah struktur ganda, satu set kerja, satu set cadangan regenerasi lainnya

◎ dalam pemurnian tinggi, ekspor berbagai kandungan kotoran <1ppb

◎ Elektrokimia dipoles 316 (L) stainless steel

Filter efisien 0,003 mikron bawaan

◎ Purifier ini dikonfigurasi dengan menara pra-pemurnian, menghilangkan sejumlah besar kotoran sebelum menara absorben konsumsi berharga, sehingga dapat memperpanjang masa pakai absorben konsumsi berharga

Aplikasi Produk

◎ Purifikasi terminal gas industri elektronik seperti silikon monokristal murni tinggi, ekstensi chip, sirkuit terpadu skala besar, produksi produk fotoelektrik

Peralatan proses semikonduktor: CVD, MOCVD, HVPE, tungku difusi, dll.

* Pemurnian gas besar

Parameter Sistem