Gambaran keseluruhan

Pabrik manufaktur semikonduktor, pusat nanoteknologi, pabrik nano, dan pusat manufaktur dan penelitian presisi lainnya biasanya menggabungkan ruang bersih dengan sistem tanah palsu aktif untuk memenuhi persyaratan fasilitas yang kompleks (pipa, kabel, pipa gas, dll.) dan menjaga standar kebersihan yang ketat. Tanah ini tidak cocok untuk peralatan produksi, pengujian dan pengukuran yang sensitif terhadap getaran. Tanah aktif tidak dapat menyediakan lingkungan getaran yang tenang yang diperlukan untuk alat-alat ini. TMC Quiet Island menawarkan solusi inovatif dengan menggantikan sebagian dari area tanah aktif dengan "pulau tenang" yang tetap di lantai bawah. Quiet Island terdiri dari bagian atas platform yang kompatibel dengan ruang bersih dan struktur dukungan khusus aplikasi dan lokasi.

Penghilangan

Komponen pendukung utama dan teknologi inti Quiet Island** terintegrasi dalam sistem anti-vibrasi aktif STACIS III. Sistem dukungan damping inersia tipe "kaku" ini ideal untuk instrumen sensitif getaran apa pun yang memungkinkan alat tersebut untuk beroperasi dengan standar tinggi dalam lingkungan yang bising. STACIS III kompatibel dengan alat pemrosesan wafer otomatis, alat pencitraan balok elektron resolusi tinggi, alat penggilingan balok ion, dan alat apapun dengan sistem isolasi internal pasif atau aktif (lihat buku putih kami tentang menumpuk isolator aktif pada isolator aktif). Selain itu, ini juga menawarkan kinerja isolasi getaran dalam rentang frekuensi yang luas. Dan desain "instalasi keras" sangat keras, sehingga tidak ada masalah stabilitas untuk alat yang lebih tinggi dan ringan.

Standing dan Bracket

Pipa berdiri yang sangat kuat dan tahan lama untuk mendukung isolator STACIS dirancang oleh tim rekayasa TMC yang berpengalaman dan diproduksi oleh pabrik ISO 9001 kami sesuai dengan standar tinggi dan spesifikasi sertifikasi las. Setiap Quiet Island dirancang dengan hati-hati untuk berbagai ketinggian tanah kegiatan, geometri tanah dasar, dan ukuran alat. Dengan ribuan perangkat yang dipasang di seluruh dunia untuk mendukung lebih dari 200 model instrumen yang berbeda, TMC memiliki pengetahuan dan pengalaman yang luas untuk merancang struktur pendukung yang memenuhi kebutuhan STACIS dan fasilitas Anda.

Platform kaku

Platform ini terdiri dari lapisan pelat baja tebal 4 inci (100 mm) yang dirancang dan diproduksi oleh TMC, di mana pelat baja dipasang di sekitar bahan inti ringan, tidak dapat dikompresi, dan memotong. Efek pelapisan pelat baja kaku dan inti yang melekat dengan resin epoksi ke dalam pelat stainless steel mulus memberikan kekakuan dan damping struktural yang sangat tinggi. Bagian silang yang besar dan kandungan baja menghasilkan kekakuan keseluruhan yang sangat tinggi. Bagian atas dan sisi adalah satu-satunya casing stainless steel untuk menjaga kebersihan, keindahan, dan integritas. TMC dapat merancang dan memproduksi platform khusus aplikasi sesuai kebutuhan, termasuk potongan, bentuk khusus, lubang tetap, dan bolt cincin gantung.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Keuntungan dari Quiet Island

Kompatibel dengan alat-alat yang menggunakan teknologi anti-vibrasi aktif piezoelektrik STACIS - TMC industri *, desain "hard-mount" dan isolasi vibrasi mulai dari 0,6 Hz dengan isolator bawaan.

Fleksibilitas modularisasi, kustomisasi, dan reorientasi - masing-masing platform disesuaikan dengan aplikasi pelanggan, tetapi tidak seperti platform beton yang dapat dengan mudah dikonfigurasi ulang jika alat atau karakteristik tanah berubah.

Keahlian - TMC memiliki pengalaman yang luas dalam bekerja sama dengan produsen semikonduktor **, lembaga penelitian dan OEM ultra presisi. Kami memahami pelanggan dan kebutuhan mereka. Kami merancang dan memproduksi sendiri.

Kinerja

Di Quiet Island yang tinggi 24 inci, 40 inci x 60 inci, di atas 4 rack STACIS,
Pengukuran transmisi di bawah masukan VC-C dari tanah

Spesifikasi

Spesifikasi kinerja

Persyaratan desain, ukuran, lingkungan, dan kegunaan isolator

Spesifikasi Kontroler DC-2020

Parameter lainnya

LainnyaKonfigurasi Quiet Island

Instrumen besar yang tidak memiliki spesifikasi getaran lingkungan biasanya membutuhkan pendukung kaku dan stabil yang dipisahkan dari tanah aktif. Kekakuan Quiet Island adalah solusi yang ideal. Tight Quiet Island memiliki bagian atas platform berkinerja tinggi yang sama dan juga dapat dirancang khusus untuk ruang bersih lantai aktif dengan ketinggian apapun, geometri lantai dasar apapun, dan berbagai ukuran alat. TMC menawarkan berbagai jenis pilar untuk memenuhi berbagai kebutuhan, yang membentuk solusi modular dan fleksibel yang dapat diposisikan ulang dan ditingkatkan khusus untuk instrumen dan pabrik.

Aplikasi Foto

Karena dipasang di Pulau Tenang kami ® Kompleksitas, sensitivitas dan nilai peralatan di platform dasar, kami tidak membuat katalog standar untuk pesananTidak.

Kami percaya bahwa setiap platform harus dirancang khusus untuk aplikasi tertentu. Langkah-langkah pesanan yang disarankan adalah sebagai berikut:

▪ Beritahu kami perangkat atau instrumen yang ingin Anda isolasi. Karena kami telah menginstal ribuan perangkat, kami mungkin sudah memiliki desain platform yang memenuhi persyaratan aplikasi Anda. Selain itu, kami menjaga hubungan erat dengan produsen stepper, aligner, SEM, dan alat lainnya, sehingga kami mengetahui spesifikasi baru untuk ukuran, bentuk, perubahan berat, dan getaran tanah.

▪ Atau, Anda mungkin ingin platform yang cocok untuk sistem grid tanah aktif. Pelanggan biasanya memilih platform 47 x 47 inci (1.190 x 1.190 mm) untuk menggantikan blok lantai ganda.

▪ Beritahu kami ketinggian tanah kegiatan Anda lebih tinggi dari tanah dasar yang padat.

▪ Silakan deskripsikan atau berikan ilustrasi yang menunjukkan pola lubang apa pun dalam geometri lantai bawah atau balok baja / grid Anda.

▪ Silakan berikan kami data getaran tanah atau bicarakan dengan kami tentang cara mengatur pengukuran ini.

▪ Pertimbangkan sensitivitas getaran instrumen. Desain pilar kaku dan non-resonansi kami memberikan dukungan yang cukup untuk banyak alat. Aplikasi yang lebih sensitif akan membutuhkan dukungan udara atau piezoelektrik