Sistem OTL-PECVD-1200PECVD terdiri dari tungku tabung vakum OTL1200, ruang vakum kuarsa, sumber daya frekuensi radio, sistem pasokan gas GX, sistem pompa gas, sistem pengukuran vakum.

Fitur utama:

Mengubah gas dalam ruang vakum kuarsa menjadi keadaan ion melalui sumber daya frekuensi radio.

PECVD memiliki suhu yang lebih rendah daripada CVD biasa untuk melakukan depositasi fase kimia.

3, dapat mengontrol ukuran tekanan film yang disimpan melalui frekuensi sumber daya frekuensi radio.

PECVD memiliki tingkat depositasi fase kimia yang tinggi, keseragaman yang baik, konsistensi dan stabilitas yang tinggi daripada CVD biasa.

5, banyak digunakan dalam: pertumbuhan berbagai film tipis, seperti: SiOx, SiNx, SiOxNy dan silikon amortip (a-Si: H) dll.

Sistem OTL-PECVD-1200 PECVD menggunakan kawat resistansi Kanthal Swedia sebagai komponen pemanas, menggunakan struktur kerangka ganda lapisan dan 30 program pengukur suhu, pemicu fase bergeser, kontrol silikon yang dapat dikendalikan, kompor menggunakan bahan serat polikristal aluminium oksida, kedua ujung tabung kompor dapat disegel flange stainless steel, flange stainless steel diinstal pada mulut udara, katup dan pengukur tekanan, vakum dapat mencapai 10-3 Pa saat memompa vakum, dengan keseimbangan medan suhu, suhu permukaan rendah, tingkat suhu yang cepat, hemat energi, harga murah dan sebagainya.

(3) Keseimbangan resistansi, keseimbangan medan suhu yang baik

Komponen pemanas: Swedia Kanthal A1 kawat resistensi impor (kawat resistensi dapat dijanjikan garansi 2 tahun)

Ketika sirkuit berlebihan arus atau kebocoran, pembukaan kosong akan otomatis terputus

Tungku ini dilengkapi dengan antarmuka komunikasi dan perangkat lunak, dapat mengontrol berbagai parameter tungku secara langsung melalui komputer, dan dapat mengamati dari komputer nilai suhu PV dan SV tungku dan operasi instrumen, komputer kurva pemanasan sebenarnya tungku akan digambar secara real time, dan dapat menyimpan data suhu setiap saat, dapat mengatur vakum kapan saja.

(2) Menggunakan teknologi Jepang.

(3), jarak dan jarak penyimpanan kawat resistensi dalam tungku semua disetel sesuai dengan teknologi termoteknik terbaik Jepang, setelah perangkat lunak termoteknik simulasi medan suhu

(4) Pemanasan selama 4 minggu, suhu lebih seimbang

(Semua peralatan impor yang disertifikasi UL)